3月10日晚间，北方华创（002371）发布公告称，公司拟以现金16.87亿元协议受让芯源微（688037）9.49%股份（合计19064915股），每股转让价格为88.48元。同时，北方华创计划通过参与公开征集转让等方式继续增持芯源微股份，目标取得该公司控制权。

同日晚间，芯源微（688037.SH）亦公告称，因持股5%以上的股东沈阳先进制造技术产业有限公司（以下简称“先进制造”）与北方华创签署了《股份转让协议》，先进制造拟将其持有的1906.49万股公司股份以88.48元/股的价格转让给北方华创，占公司总股本的9.49%。这一价格与芯源微停牌前价格基本持平。

如此一来，北方华创将成为芯源微的第二大股东。

此外，芯源微还同日公告，持股5%以上股东中科天盛拟通过公开征集转让方式协议转让其所持公司全部股份1689.975万股，占公司总股本的8.41%。

据了解，作为国内半导体装备双雄，此次并购将深度整合两家企业的技术优势。北方华创作为全球第八大集成电路装备企业，在刻蚀、薄膜沉积、炉管等核心装备领域拥有完整布局，2023年营收规模居国内首位。芯源微则是科创板上市企业，专注于光刻工序涂胶显影设备及单片式湿法设备研发生产，是国内唯一可提供前道量产型涂胶显影设备的厂商，其产品在前道制造中与光刻机联机作业，具有不可替代性。两家企业在装备品类上形成互补，协同效应显著。